Growth of n- and p-type Al(As)Sb by metalorganic chemical vapor deposition

Applied Physics Letters

Volumn 68, Issue 7, 1996, Pages 932-934

  Biefeld, R M ^a   Allerman, A A ^a   Pelczynski, M W ^a  

^a SANDIA NATIONAL LABORATORIES   (United States)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 0000759851     PISSN: 00036951     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.116235     Document Type: Article

References (14)

1. S. R. Kurtz, R. M. Biefeld, L. R. Dawson, K. C. Baucom, and A. J. Howard, Appl. Phys. Lett. AIP 63, 812 (1994).
2. H. K. Choi, G. W. Turner, and Z. L. Liau, Appl. Phys. Lett. AIP 65, 2251 (1994).
3. Y.-H. Zhang, Appl. Phys. Lett. AIP 66, 118 (1995).
4. R. Bhat, M. A. Koza, D-M. Hwang, Chem, W.-P. Hong, C. Caneau, C. K. Nguyen, and S. Goswami, presented at the Seventh Biennial Workshop on Organometallic Vapor Phase Epitaxy, April 2-6, 1995.
5. W. K. Chen, J. Ou, and W.-I. Lee, Jpn. J. Appl. Phys. INS 33, L402 (1994).
6. D. S. Cao, Z. M. Fang, and G. B. Stringfellow, J. Cryst. Growth INS 113, 441 (1991).
7. G. J. Bougnot, A. F. Foucaran, M. Marjan, D. Etienne, J. Bougnot, F. M. H. Delannoy, and F. M. Roumanille, J. Cryst. Growth INS 77, 400 (1987).
8. M. Leroux, A. Tromson-Carli, P. Gibart, C. Verie, C. Bernard, and M. C. Schouler, J. Cryst. Growth INS 48, 367 (1980).
9. C. A. Wang, M. C. Finn, S. Salim, K. F. Jensen, and A. C. Jones, Appl. Phys. Lett. AIP 67, 1384 (1995).
10. G. B. Stringfellow, Organometallic Vapor Phase Epitaxy: Theory and Practice (Academic, San Diego, CA, 1989).
11. M. A. Tischler, R. M. Potemski, T. F. Kuech, F. Cardone, M. S. Goorsky, and G. Scilla, J. Cryst. Growth INS 107, 268 (1991).
12. W. S. Hobson, T. D. Harris, C. R. Abernathy, and S. J. Pearton, Appl. Phys. Lett. AIP 58, 77 (1991).
13. R. P. Schneider, R. P. Bryan, E. D. Jones, R. M. Biefeld, and G. R. Olbright, J. Cryst. Growth INS 123, 487 (1992).
14. R. M. Biefeld, C. R. Hills, and S. R. Lee, J. Cryst. Growth INS 91, 515 (1988).