Suspended epitaxial YBaCuO microbolometers fabricated by silicon micromachining: Modeling and measurements

Journal of Applied Physics

Volumn 81, Issue 10, 1997, Pages 7039-7047

  Méchin, Laurence ^a,c   Villégier, Jean Claude ^a   Bloyet, Daniel ^b  

^a CEA GRENOBLE   (France)

^b CNRS   (France)

^c UNIVERSITY OF CAMBRIDGE   (United Kingdom)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 0000751085     PISSN: 00218979     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.365225     Document Type: Article

References (31)

1. J. Brasunas, V. Kunde, H. Moseley, and B. Lakew, Proc. SPIE 1292, 155 (1990).
2. K. Chance, J. J. Wijnbergen, W. Schneider, and J. P. Burrows, Proc. SPIE 2159, 21 (1994).
3. M. C. Foote, B. R. Johnson, and B. D. Hunt, Proc. SPIE 2159, 2 (1994).
4. M. J. M. E de Nivelle, M. P. Bruin, M. Frericks, R. de Vries, J. J. Winjbergen, P. A. J. de Korte, S. Sanchez, M. Elwenspoek, T. Heidenblut, B. Schwierzi, W. Michalke, and E. Steinbeiss, J. Phys. (France) III 6, 423 (1996).
5. R. Barth, J. Siewert, C. Jaekel, B. Spangenberg, H. Kurz, W. Prusseit, B. Utz, and H. Wolf, J. Appl. Phys. 78, 4218 (1995).
6. L. Méchin, J.-C. Villégier, and D. Bloyet, Appl. Phys. Lett. 70, 123 (1997).
7. P. L. Richards, J. Clarke, R. Leoni, Ph. Lerch, S. Verghese, M. R. Beasley, T. H. Geballe, R. H. Hammond, P. Rosenthal, and S. R. Spielman, Appl. Phys. Lett. 54, 283 (1989).
8. P. Kruse, Proc. SPIE 1292, 108 (1990).
9. B. E. Cole, Proc. SPIE 1394, 126 (1990).
10. P. L. Richards, J. Appl. Phys. 76, 1 (1994).
11. S. Verghese, P. L. Richards, K. Char, D. K. Fork, and T. H. Geballe, J. Appl. Phys. 71, 2491 (1992).
12. F. J. Low and A. R. Huffman, Appl. Opt. 2, 649 (1963).
13. S. Verghese, P. L. Richards, S. A. Sachtjen, and K. Char, J. Appl. Phys. 74, 4251 (1993).
14. J. C. Brasunas and B. Lakew, Appl. Phys. Lett. 64, 777 (1994).
15. Q. Li, D. B. Fenner, W. D. Hamblen, and D. G. Hamblen, Appl. Phys. Lett. 62, 2428 (1993).
16. S. Verghese, P. L. Richards, D. K. Fork, K. Char, and T. H. Geballe, IEEE Trans. Appl. Supercond. 3, 2115 (1993).
17. H. Neff, J. Laukemper, I. A. Khrebtov, A. D. Tkachenko, E. Steinbeiss, W. Michalke, M. Burnus, T. Heidenblut, G. Hefle, and B. Schwierzi, Appl. Phys. Lett. 66, 2421 (1995).
18. R. Johnson, T. Ohnstein, C. J. Man, R. Higashi, P. W. Kruse, R. A. Wood, H. Marsh, and S. B. Dunham, IEEE Trans. Appl. Supercond. 3, 2856 (1993).
19. J. P. Rice, E. N. Grossman, and D. A. Rudman, Appl. Phys. Lett. 65, 773 (1994).
20. H. S. Carslaw and J. C. Jaeger, Conduction of Heat in Solids (Oxford University Press, Oxford, 1959).
21. A. Mogro-Campero, Semicond. Sci. Technol. 3, 155 (1990).
22. D. K. Fork, D. B. Fenner, R. W. Barton, J. M. Phillips, G. A. N. Connel, J. B. Boyce, and T. H. Geballe, Appl. Phys. Lett. 57, 1161 (1990).
23. A. Lubig, Ch. Buchal, D. Guggi, C. L. Jia, and B. Stritzker, Thin Solid Films 217, 125 (1992).
24. C. A. Copetti, H. Soltner, J. Schubert, W. Zander, O. Hollricher, Ch. Buchal, H. Schultz, N. Tellmann, and N. Klein, Appl. Phys. Lett. 63, 1429 (1993).
25. L. Méchin, J.-C. Villégier, G. Rolland, and F. Laugier, Physica C 269, 124 (1996).
26. P. Langlois, Ph.D. thesis, University of Caen, 1993.
27. P. E. Phelan, Ph.D. thesis. University of Berkeley, 1990.
28. Y. S. Touloukian, Thermophysical Properties of Matter IFI (Plenum, New York, 1970).
29. E. Lesquey, C. Gunther, S. Flament, R. Desfeux, J. F. Hamet, and D. Robbes, IEEE Trans. Appl. Supercond. 5, 2427 (1995).
30. Verghese, P. L. Richards, K. Char, and S. A. Sachtjen, Proc. SPIE 1292, 137 (1990).
31. Verghese, P. L. Richards, K. Char, and S. A. Sachtjen, IEEE Trans. Magn. 27, 3077 (1991).