Stress measurements in silicon devices through Raman spectroscopy: Bridging the gap between theory and experiment

Journal of Applied Physics

Volumn 79, Issue 9, 1996, Pages 7148-7156

  De Wolf, Ingrid ^a   Maes, H E ^a   Jones, Stephen K ^b  

^a IMEC   (Belgium)

^b GEC Marconi Materials Technology Ltd   (United Kingdom)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 0000736871     PISSN: 00218979     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.361485     Document Type: Article

References (24)

1. E. Anastassakis, A. Pinczuk, and E. Burstein, Solid State Commun. 8, 133 (1970).
2. E. Anastassakis, A. Cantarero, and M. Cardona, Phys. Rev. B 41, 7529 (1990).
3. I. De Wolf, H. Norström, and H. E. Maes, J. Appl. Phys. 74, 4490 (1993).
4. K. F. Young, IBM J. Res. Dev. 34, 706 (1990).
5. S. Isomae, S. Yamamoto, S. Aoki, and A. Yajima, IEEE Electron Device Lett. EDL-7, 368 (1986).
6. D. Chidambarrao, J. P. Peng, and G. R. Srinivasan, J. Appl. Phys. 70, 4816 (1991).
7. S. M. Hu, J. Appl. Phys. 50, 4661 (1979).
8. J. A. Appels, E. Kooi, M. M. Paffen, J. J. H. Schatorge, and W. H. C. G. Verkuylen, Philips Res. Rep. 25, 118 (1970).
9. S. Isamae, Y. Tamaki, A. Yajuma, M. Nanba, and M. Maki, J. Electrochem. Soc. Solid State Sci. Technol. 126, 1014 (1979).
10. S. M. Hu, J. Appl. Phys. 70, R53 (1991).
11. J. Vanhellemont, S. Amelinckx, and C. Claeys, J. Appl. Phys. 61, 2176 (1987).
12. S. Ganesan, A. A. Maradudin, and J. Oitmaa, Ann. Phys. 56, 556 (1970).
13. E. Anastassakis, ARW-NATO, Canada, March 1991.
14. I. De Wolf, J. Vanhellemont, A. Romano-Rodriguez, H. Norström, and H. E. Maes, J. Appl. Phys. 71, 898 (1992).
15. S. C. Jain, B. Dietrich, H. Richter, A. Atkinson, and A. H. Harker, Phys. Rev. B 52, 6247 (1995).
16. Q. Ma, S. Chiras, D. R. Clarke, and Z. Suo, J. Appl. Phys. 78, 1614 (1995).
17. P. Graf, Diplomarbeit in Physik, Mathematisch-Naturwissenschaftlichen Fakultät der Rheinisch-Westfälischen Technuschen Hochschule, Aachen (in German), 1990.
18. R. Loudon, Adv. Phys. 13, 423 (1964).
19. S. C. Jain, A. H. Harker, A. Atkinson, and K. Pinardi, J. Appl. Phys. 78, 1630 (1994).
20. J. Vanhellemont, S. Amelinckx, and C. Claeys, J. Appl. Phys. 61, 2170 (1987).
21. D. E. Aspnes and A. A. Studna, Phys. Rev. B 27, 985 (1983).
22. A. Chouaf, G. Loppin, M. Ignat, and J. M. Terriez, Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 309, 211 (1993).
23. S. K. Jones, A. Poncet, I. De Wolf, M. M. Ahmed, and W. J. Rothwell. IEDM Symposium Proceedings 94-877, 1994 (unpublished), pp. 35.5.1-35.5.4.
24. I. De Wolf, H. E. Maes, J. Moffet, and M. Ignat, Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 391, 109 (1995).