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Volumn 68, Issue 5, 1996, Pages 634-636

Crystalline carbon nitride films formation by chemical vapor deposition

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EID: 0000619062     PISSN: 00036951     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.116492     Document Type: Article
Times cited : (133)

References (13)


* 이 정보는 Elsevier사의 SCOPUS DB에서 KISTI가 분석하여 추출한 것입니다.