Studies of electrically active defects in relaxed GeSi films using a near-field scanning optical microscope

Journal of Applied Physics

Volumn 79, Issue 10, 1996, Pages 7743-7750

  Hsu, J W P ^a   Fitzgerald, E A ^b   Xie, Y H ^c   Silverman, P J ^c  

^a University of Virginia   (United States)

^b Massachusetts Institute of Technology Cambridge   (United States)

^c LUCENT TECHNOLOGIES   (United States)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 0000607356     PISSN: 00218979     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.362378     Document Type: Article

References (40)

1. D. W. Pohl, W. Denk, and M. Lanz, Appl. Phys. Lett. 44, 651 (1984).
2. E. Betzig, J. K. Trautman, T. D. Harris, J. S. Weiner, and R. L. Kostelak, Science 251, 1468 (1991).
3. See, for example, E. A. Fitzgerald, Mater. Sci. Rep. 7, 87 (1991).
4. E. Betzig and J. K. Trautman, Science 257, 189 (1992).
5. J. K. Trautman, E. Betzig, J. S. Weiner, D. J. DiGiovanni, T. D. Harris, F. Hellman, and E. M. Gyorgy, J. Appl. Phys. 71, 4659 (1992).
6. E. Betzig, J. K. Trautman, R. Wolfe, E. M. Gyorgy, and P. L. Finn, Appl. Phys. Lett. 61, 142 (1992); T. J. Silva, S. Schultz, and D. Weller, ibid. 65, 658 (1994); B. D. Terris, H. J. Mamin, D. Rugar, W. R. Studenmund, and G. S. Kino ibid. 65, 388 (1994).
7. E. Betzig, J. K. Trautman, R. Wolfe, E. M. Gyorgy, and P. L. Finn, Appl. Phys. Lett. 61, 142 (1992); T. J. Silva, S. Schultz, and D. Weller, ibid. 65, 658 (1994); B. D. Terris, H. J. Mamin, D. Rugar, W. R. Studenmund, and G. S. Kino ibid. 65, 388 (1994).
8. E. Betzig, J. K. Trautman, R. Wolfe, E. M. Gyorgy, and P. L. Finn, Appl. Phys. Lett. 61, 142 (1992); T. J. Silva, S. Schultz, and D. Weller, ibid. 65, 658 (1994); B. D. Terris, H. J. Mamin, D. Rugar, W. R. Studenmund, and G. S. Kino ibid. 65, 388 (1994).
9. E. Betzig and R. J. Chichester, Science 262, 1422 (1993); J. K. Trautman, J. J. Macklin, L. E. Brus, and E. Betzig, Nature 369, 40 (1994); X. S. Xie and R. C. Dunn, Science 265, 361 (1994); W. P. Ambrose, P. M. Goodwin, J. C. Martin, and R. A. Keller, ibid. 265, 364 (1994); W. E. Moerner, T. Plakhotnik, T. Irngartinger, U. P. Wild, D. W. Pohl, and B. Hecht, Phys. Rev. Lett. 73, 2764 (1994).
10. E. Betzig and R. J. Chichester, Science 262, 1422 (1993); J. K. Trautman, J. J. Macklin, L. E. Brus, and E. Betzig, Nature 369, 40 (1994); X. S. Xie and R. C. Dunn, Science 265, 361 (1994); W. P. Ambrose, P. M. Goodwin, J. C. Martin, and R. A. Keller, ibid. 265, 364 (1994); W. E. Moerner, T. Plakhotnik, T. Irngartinger, U. P. Wild, D. W. Pohl, and B. Hecht, Phys. Rev. Lett. 73, 2764 (1994).
11. E. Betzig and R. J. Chichester, Science 262, 1422 (1993); J. K. Trautman, J. J. Macklin, L. E. Brus, and E. Betzig, Nature 369, 40 (1994); X. S. Xie and R. C. Dunn, Science 265, 361 (1994); W. P. Ambrose, P. M. Goodwin, J. C. Martin, and R. A. Keller, ibid. 265, 364 (1994); W. E. Moerner, T. Plakhotnik, T. Irngartinger, U. P. Wild, D. W. Pohl, and B. Hecht, Phys. Rev. Lett. 73, 2764 (1994).
12. E. Betzig and R. J. Chichester, Science 262, 1422 (1993); J. K. Trautman, J. J. Macklin, L. E. Brus, and E. Betzig, Nature 369, 40 (1994); X. S. Xie and R. C. Dunn, Science 265, 361 (1994); W. P. Ambrose, P. M. Goodwin, J. C. Martin, and R. A. Keller, ibid. 265, 364 (1994); W. E. Moerner, T. Plakhotnik, T. Irngartinger, U. P. Wild, D. W. Pohl, and B. Hecht, Phys. Rev. Lett. 73, 2764 (1994).
13. E. Betzig and R. J. Chichester, Science 262, 1422 (1993); J. K. Trautman, J. J. Macklin, L. E. Brus, and E. Betzig, Nature 369, 40 (1994); X. S. Xie and R. C. Dunn, Science 265, 361 (1994); W. P. Ambrose, P. M. Goodwin, J. C. Martin, and R. A. Keller, ibid. 265, 364 (1994); W. E. Moerner, T. Plakhotnik, T. Irngartinger, U. P. Wild, D. W. Pohl, and B. Hecht, Phys. Rev. Lett. 73, 2764 (1994).
14. R. D. Grober, T. D. Harris, J. K. Trautman, E. Betzig, W. Wegscheider, L. Pfeiffer, and K. West, Appl. Phys. Lett. 64, 1421 (1994); H. F. Hess, E. Betzig, T. D. Harris, L. N. Pfeiffer, and K. W. West, Science 264, 1740 (1994); H. Ghaemi, C. Cates, B. Goldberg, P. D. Wang, C. M. Sotomayer Torres, M. Fritze, and A. Nurmikko, Superlattices and Microstructures 17, 15 (1995).
15. R. D. Grober, T. D. Harris, J. K. Trautman, E. Betzig, W. Wegscheider, L. Pfeiffer, and K. West, Appl. Phys. Lett. 64, 1421 (1994); H. F. Hess, E. Betzig, T. D. Harris, L. N. Pfeiffer, and K. W. West, Science 264, 1740 (1994); H. Ghaemi, C. Cates, B. Goldberg, P. D. Wang, C. M. Sotomayer Torres, M. Fritze, and A. Nurmikko, Superlattices and Microstructures 17, 15 (1995).
16. R. D. Grober, T. D. Harris, J. K. Trautman, E. Betzig, W. Wegscheider, L. Pfeiffer, and K. West, Appl. Phys. Lett. 64, 1421 (1994); H. F. Hess, E. Betzig, T. D. Harris, L. N. Pfeiffer, and K. W. West, Science 264, 1740 (1994); H. Ghaemi, C. Cates, B. Goldberg, P. D. Wang, C. M. Sotomayer Torres, M. Fritze, and A. Nurmikko, Superlattices and Microstructures 17, 15 (1995).
17. S. K. Buratto, J. W. P. Hsu, E. Betzig, J. K. Trautman, R. B. Bylsma, C. C. Bahr, and M. J. Cardillo, J. Appl. Phys. 76, 7720 (1994).
18. S. K. Buratto, J. W. P. Hsu, E. Betzig, J. K. Trautman, R. B. Bylsma, C. C. Bahr, and M. J. Cardillo, Appl. Phys. Lett. 65, 2654 (1994).
19. W. D. Herzog, B. B. Goldberg, M. S. Unlu, H. F. Ghaemi, D. Sun, and E. Towe, Proceedings of Quantum Electronics and Laser Symposium, Baltimore, MD, June, 1995 (unpublished).
20. J. W. P. Hsu, E. A. Fitzgerald, Y. H. Xie, and P. J. Silverman, Appl. Phys. Lett. 65, 344 (1994).
21. Y. J. Mii, Y. H. Xie, E. A. Fitzgerald, D. Monroe, F. A. Thiel, B. E. Weir, and L. C. Feldman, Appl. Phys. Lett. 59, 1611 (1991); Y. H. Xie, D. Monroe, E. A. Fitzgerald, P. J. Silverman, F. A. Thiel, and G. P. Watson, Appl. Phys. Lett. 63, 2263 (1993).
22. Y. J. Mii, Y. H. Xie, E. A. Fitzgerald, D. Monroe, F. A. Thiel, B. E. Weir, and L. C. Feldman, Appl. Phys. Lett. 59, 1611 (1991); Y. H. Xie, D. Monroe, E. A. Fitzgerald, P. J. Silverman, F. A. Thiel, and G. P. Watson, Appl. Phys. Lett. 63, 2263 (1993).
23. F. Schaffler, D. Tobben, H. J. Herzog, G. Albstreiter, and B. Hollander, Semicond. Sci. Technol. 7, 260 (1992).
24. E. A. Fitzgerald, Y. H. Xie, D. Monroe, P. J. Silverman, J. M. Kuo, A. R. Kortan, F. A. Thiel, and B. E. Weir, J. Vac. Sci. Technol. B 10, 1807 (1992).
25. E. A. Fitzgerald, Y. H. Xie, M. L. Green, D. Brasen, A. R. Kortan, J. Michel, Y. J. Mii, and B. E. Weir, Appl. Phys. Lett. 59, 811 (1991); Y. H. Xie, E. A. Fitzgerald, P. J. Silverman, A. R. Kortan, and B. E. Weir, J. Mater. Sci. Eng. B 14, 332 (1992).
26. E. A. Fitzgerald, Y. H. Xie, M. L. Green, D. Brasen, A. R. Kortan, J. Michel, Y. J. Mii, and B. E. Weir, Appl. Phys. Lett. 59, 811 (1991); Y. H. Xie, E. A. Fitzgerald, P. J. Silverman, A. R. Kortan, and B. E. Weir, J. Mater. Sci. Eng. B 14, 332 (1992).
27. J. W. P. Hsu, E. A. Fitzgerald, Y. H. Xie, P. J. Silverman, and M. J. Cardillo, Appl. Phys. Lett. 61, 1293 (1992).
28. E. Betzig, P. L. Finn, and J. S. Weiner, Appl. Phys. Lett. 60, 2484 (1992); R. Toledo-Crow, P. C. Yang, Y. Chen, and M. Vaez-Iravani, Appl. Phys. Lett. 60, 2957 (1992).
29. E. Betzig, P. L. Finn, and J. S. Weiner, Appl. Phys. Lett. 60, 2484 (1992); R. Toledo-Crow, P. C. Yang, Y. Chen, and M. Vaez-Iravani, Appl. Phys. Lett. 60, 2957 (1992).
30. J. W. P. Hsu, M. Lee, and B. S. Deaver, Rev. Sci. Instrum. 66, 3177 (1995).
31. U. Durig, D. W. Pohl, and F. Rohner, J. Appl. Phys. 59, 3318 (1986).
32. K. M. Chen, D. E. Jesson, and S. J. Pennycook, Appl. Phys. Lett. 66, 34 (1995).
33. H. J. Leamy, J. Appl. Phys. 53, R51 (1982).
34. H. J. Hovel, Semiconductors and Semimetals (Academic, New York, 1975), Vol. 11, Chap. 2.
35. The bulk lifetime here refers to carrier lifetime uniform at the length scale of NPV or EBIC resolution.
36. Estimate using the ambipolar condition does not affect the numbers significantly.
37. J. W. P. Hsu, C. C. Bahr, A. vom Felde, S. W. Downey, G. S. Higashi, and M. J. Cardillo, J. Appl. Phys. 71, 4983 (1992).
38. T. Wilson and C. J. Sheppard, Theory and Practice of Scanning Optical Microscopy (Academic, New York, 1984), Chap. 9.
39. See, for example, T. Wilson, W. R. Osicki, J. N. Gannaway, and G. R. Booker, J. Mater. Sci. 14, 961 (1979).
40. M. S. Unlu, B. B. Goldberg, W. D. Herzog, D. Zun, and E. Towe, Appl. Phys. Lett. 67, 1862 (1995).