Ion damage buildup and amorphization processes in GaAs-AlxGa1-xAs multilayers

Journal of Applied Physics

Volumn 80, Issue 5, 1996, Pages 2691-2701

  Tan, H H ^a   Jagadish, C ^a   Williams, J S ^a   Zou, J ^b   Cockayne, D J H ^b  

^a AUSTRALIAN NATIONAL UNIVERSITY   (Australia)

^b UNIVERSITY OF SYDNEY   (Australia)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 0000529853     PISSN: 00218979     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.363186     Document Type: Article

References (36)

1. W. D. Laidig, N. Holonyak, Jr., M. D. Camras, K. Hess, J. J. Coleman, P. D. Dupkus, and J. Bardeen, Appl. Phys. Lett. 38, 776 (1981).
2. J. J. Coleman, P. D. Dupkus, C. G. Kirkpatrick, M. D. Camras, and N. Holonyak, Jr., Appl. Phys. Lett. 40, 904 (1982).
3. F. E. Prins, G. Lehr, H. Schweizer, and G. W. Smith, Appl. Phys. Lett. 63, 1402 (1993).
4. T. Hirata, M. Maeda, M. Suehir, and H. Hosomatsu, Jpn. J. Appl. Phys. 29, L961 (1990).
5. J. Cibert, P. M. Petroff, G. J. Dolan, S. J. Pearton, and J. H. English, Appl. Phys. Lett. 49, 1275 (1986).
6. F. Xiong, T. A. Tombrello, H. Wang, T. R. Chen, H. Z. Chen, H. Morkoç, and A. Yariv, Appl. Phys. Lett. 54, 730 (1989).
7. T. Fukuzawa, S. Semura, H. Saito, T. Ohta, Y. Uchida, and H. Nakashima, Appl. Phys. Lett. 45, 1 (1986).
8. A. N. M. Mason Choudhury, P. Melman, A. Silletti, E. S. Koteles, B. Foley, and B. Elman, IEEE Photon. Technol. Lett. PTL-3, 817 (1991).
9. S. J. Pearton, Mater. Sci. Rep. 4, 313 (1990).
10. S. J. Pearton, F. Ren, J. R. Lothian, T. R. Fullowan, A. Katz, P. W. Wisk, C. R. Abernathy, R. F. Kopf, R. G. Elliman, M. C. Ridgway, C. Jagadish, and J. S. Williams, J. Appl. Phys. 71, 4949 (1992).
11. J. S. Williams, C. Jagadish, A. Clark, G. Li, and C. A. Larsen, Nucl. Instrum. Methods B 74, 80 (1993).
12. J. S. Williams, H. H. Tan, R. D. Goldberg, R. A. Brown, and C. Jagadish, Mater. Res. Symp. Proc. 316, 15 (1994).
13. A. G. Cullis, A. Polman, P. W. Smith, D. C. Jacobson, J. M. Poate, and C. R. Whitehouse, Nucl. Instrum. Methods B 62, 463 (1992).
14. I. Jencic, M. W. Bench, and I. M. Robertson, J. Appl. Phys. 69, 1287 (1991).
15. I. Jencic, M. W. Bench, I. M. Robertson, M. A. Kirk, and J. Peternelj, Nucl. Instrum. Methods B 59/60, 458 (1991).
16. C. Vieu, M. Schneider, H. Launois, and B. Descouts, J. Appl. Phys. 71, 4833 (1992).
17. A. G. Cullis, N. G. Chew, C. R. Whitehouse, D. C. Jacobson, J. M. Poate, and S. J. Pearton, Appl. Phys. Lett. 55, 1211 (1989).
18. A. G. Cullis, P. W. Smith, D. C. Jacobson, and J. M. Poate, J. Appl. Phys. 69, 1279 (1991).
19. D. J. Eaglesham, I. M. Poate, D. C. Jacobson, M. Cerullo, L. N. Pfeiffer, and K. West, Appl. Phys. Lett. 58, 523 (1991).
20. J. L. Klatt, R. S. Averback, D. V. Forbes, and J. J. Coleman Phys. Rev. B 48, 17 629 (1993).
21. B. A. Turkot, I. M. Robertson, M. A. Kirk, L. E. Rehn, P. M. Baldo, D. V. Forbes, and J. J. Coleman, Microstructure of Irradiated Materials, edited by I. M. Robertson, S. J. Zinkle, L. E. Rehn, and W. J. Phythian (1995), p. 451.
22. B. A. Turkot, D. V. Forbes, I. M. Robertson, J. J. Coleman, L. E. Rehn, M. A. Kirk, and P. M. Baldo, J. Appl. Phys. 78, 97 (1995).
23. H. H. Tan, C. Jagadish, J. S. Williams, J. Zou, D. J. H. Cockayne, and A. Sikorski, J. Appl. Phys. 77, 87 (1995).
24. J. F. Ziegler, J. P. Biersack, and U. Littmark, in The Stopping and Range of Ions in Solid, edited by J. F. Ziegler (Pergamon, New York, 1985).
25. H. J. Hal, FASTRIM is a modified version of TRIM85-90 which takes into account of the multilayer target problems inherent with TRIM (unpublished).
26. Ion-Beam Analysis, edited by J. R. Bird and J. S. Williams (Academic, Australia, 1989).
27. J. S. Vetrano, M. W. Bench, I. M. Robertson, and M. A. Kirk, Metall. Trans. A 20, 2673 (1989).
28. D. K. Sadana, Nucl. Instrum. Methods B 7/8, 375 (1985).
29. F. Morehead and B. L. Crowder, Radiat. Eff. 6, 27 (1970).
30. F. L. Vook, Radiation Damage and Defects in Semiconductors (Institute of Physics, London, 1971), p. 60.
31. M. L. Swanson, J. R. Parsons, and C. W. Hoelke, Radiat. Eff. 9, 249 (1971).
32. P. M. Petroff, J. Vac. Sci. Technol. 14, 973 (1977).
33. R. M. Fleming, D. B. McWhan, A. C. Gossard, W. Wiegmann, and R. A. Logan, J. Appl. Phys. 51, 357 (1980).
34. S. S. Kular, B. J. Sealy, K. G. Stephens, D. K. Sadana, and G. R. Booker, Solid-State Electron. 23, 831 (1980).
35. C. Licoppe, Y. I. Nissim, and P. Heroc, Appl. Phys. Lett. 48, 1441 (1986).
36. S. Yokoyama, D. Yui, H. Tanigawa, H. Takasugi, and M. Kawabe, J. Appl. Phys. 62, 1808 (1987).