Modeling topology formation during laser ablation

Journal of Applied Physics

Volumn 84, Issue 1, 1998, Pages 577-583

  Hodapp, T W ^a   Fleming, P R ^b  

^a HAMLINE UNIVERSITY   (United States)

^b 3M COMPANY   (United States)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 0000507527     PISSN: 00218979     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.368063     Document Type: Article

References (45)

1. J. T. C. Yeh, J. Vac. Sci. Technol. A 4, 653 (1986).
2. R. Srinivasan, Science 234, 559 (1986).
3. S. G. Hansen and T. E. Robitaille, Appl. Phys. Lett. 52, 81 (1988).
4. F. Bachmann, Chemtronics 4, 149 (1989).
5. F. G. Bachmann, Appl. Surf. Sci. 46, 254 (1990).
6. H. M. Phillips, D. L. Callahan, R. Sauerbrey, G. Szabó, and Z. Bor, Appl. Phys. Lett. 58, 2761 (1991).
7. B. J. Garrison and R. Srinivasan, Appl. Phys. Lett. 44, 849 (1984).
8. E. Sutcliffe and R. Srinivasan, J. Appl. Phys. 60, 3315 (1986).
9. V. Srinivasan, M. A. Smrtic, and S. V. Babu, J. Appl. Phys. 59, 3861 (1986).
10. G. D. Mahan, H. S. Cole, Y. S. Liu, and H. R. Philipp, Appl. Phys. Lett. 53, 2377 (1988).
11. T. Keyes, R. H. Clarke, and J. M. Isner, J. Phys. Chem. 89, 4194 (1989).
12. S. Lazare and V. Granier, Appl. Phys. Lett. 54, 862 (1989).
13. R. Sauerbrey and G. H. Pettit, Appl. Phys. Lett. 55, 421 (1989).
14. S. Lazare and V. Granier, Laser Chem. 10, 25 (1989).
15. R. K. Singh and J. Narayan, Phys. Rev. B 41, 8843 (1990).
16. N. P. Furzikov, Appl. Phys. Lett. 56, 1638 (1990).
17. S. R. Cain, F. C. Burns, and C. E. Otis, J. Appl. Phys. 71, 4107 (1992).
18. J. R. Soběhart, J. Appl. Phys. 74, 2830 (1993).
19. G. H. Pettit and R. Sauerbrey, Appl. Phys. A: Solids Surf. 56, 51 (1993).
20. G. C. D'Couto and S. V. Babu, J. Appl. Phys. 76, 3052 (1994).
21. V. N. Tokarev, J. G. Lunney, W. Marine, and M. Sentis, J. Appl. Phys. 78, 1241 (1995).
22. D. L. Singleton, G. Paraskevopoulos, and R. S. Taylor, Appl. Phys. B: Photophys. Laser Chem. 50, 227 (1990).
23. L. G. Reyna and J. R. Soběhart, J. Appl. Phys. 76, 4367 (1994).
24. P. E. Dyer and J. Sidhu, J. Appl. Phys. 57, 1420 (1985).
25. G. Koren and U. P. Oppenheim, Appl. Phys. B: Photophys. Laser Chem. 42, 41 (1987).
26. G. Koren and J. T. C. Yeh, J. Appl. Phys. 56, 2120 (1984).
27. J. D. Jackson, in Classical Electrodynamics, 2nd ed. (Wiley, New York, 1975), pp. 281, 282.
28. E. T. Arakawa, M. W. Williams, J. C. Ashley, and L. R. Painter, J. Appl. Phys. 52, 3579 (1981).
29. B. Braren and R. Srinivasan, J. Vac. Sci. Technol. B 3, 913 (1985).
30. G. Koren, Appl. Phys. Lett. 50, 1030 (1987).
31. G. H. Pettit and R. Sauerbrey, Appl. Phys. Lett. 58, 793 (1991).
32. M. N. Ediger and G. H. Pettit, J. Appl. Phys. 71, 3510 (1992).
33. R. Srinivasan and B. Braren, J. Polym. Sci., Polym. Chem. Ed. 22, 2601 (1984).
34. J. H. Brannon, J. R. Lankard, A. I. Baise, F. Burns, and J. Kaufman, J. Appl. Phys. 58, 2036 (1985).
35. R. Srinivasan, B. Braren, and R. W. Dreyfus, J. Appl. Phys. 61, 372 (1987).
36. S. Küper, J. Brannon, and K. Brannon, Appl. Phys. A: Solids Surf. 56, 43 (1993).
37. A. Costela, I. Garcia-Moreno, F. Florido, J. M. Figuera, R. Sastre, S. M. Hooker, J. S. Cashmore, and C. E. Webb, J. Appl. Phys. 77, 2343 (1995).
38. G. Gorodetsky, T. G. Kazyaka, R. L. Melcher, and R. Srinivasan, Appl. Phys. Lett. 46, 828 (1985).
39. S. Küper and M. Stuke, Appl. Phys. A: Solids Surf. 49, 211 (1989).
40. B. Burghardt, H.-J. Kahlert, and D. Basting, in Laser Treatment of Materials, edited by B. L. Mordike (DGM Informationsgesellschaft, Oberursel, 1992), pp. 609-614.
41. G. E. Wolbold, C. L. Tessler, and D. J. Tudryn, Microelectron. Eng. 20, 3 (1993).
42. M. Tabat, T. R. O'Keeffe, and W. Ho, SPIE Excimer Lasers 1835, 144 (1992).
43. M. Eyett and D. Bäuerle, Appl. Phys. Lett. 51, 2054 (1987).
44. J. H. Brannon, J. Vac. Sci. Technol. B 7, 1064 (1989).
45. P. E. Dyer, S. D. Jenkins, and J. Sidhu, Appl. Phys. Lett. 49, 453 (1986).