Effect of nitrogen-oxygen complex on electrical properties of Czochralski silicon

Applied Physics Letters

Volumn 68, Issue 4, 1996, Pages 487-489

  Yang, Deren ^a   Fan, Ruixing ^a   Li, Liben ^a   Que, Duanlin ^a   Sumino, Koji ^b  

^a ZHEJIANG UNIVERSITY   (China)

^b TOHOKU UNIVERSITY   (Japan)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 0000358670     PISSN: 00036951     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.116422     Document Type: Article

References (12)

1. K. Sumino and M. Imai, Philos. Mag. A INS 47, 753 (1983).
2. K. Sumino, I. Yonenaga, M. Imai, and T. Abe, J. Appl. Phys. AIP 54, 5016 (1983).
3. F. Shimura and R. S. Hockett, Appl. Phys. Lett. AIP 48, 224 (1986).
4. Q. Sun, K. H. Yao, and H. C. Gatos, J. Appl. Phys. AIP 71, 3760 (1992).
5. D. Yang, D. Que, and K. Sumino, J. Appl. Phys. AIP 77, 943 (1995).
6. J. A. Griffin, J. Hartung, J. Weber, H. Navaro, and L. Genrel, Appl. Phys. A INS 48, 41 (1989).
7. T. Itoh and T. Abe, Appl. Phys. Lett. AIP 53, 39 (1988).
8. P. Wagner, R. Oeder, and W. Zuulwhner, Appl. Phys. A INS 46, 73 (1986).
9. M. Suezawa, K. Sumino, H. Harada, and T. Abe, Jpn. J. Appl. Phys. INS 25, L829 (1986).
10. M. Suezawa, K. Sumino, H. Harada, and T. Abe, Jpn. J. Appl. Phys. INS 27, 62 (1988).
11. D. Yang, J. Lu, L. Li, H. Yao, and D. Que, Appl. Phys. Lett. AIP 59, 1227 (1991).
12. S. A. McQuaid, M. J. Binns, C. A. Londos, J. H. Tucker, A. R. Brown, and R. C. Newman, J. Appl. Phys. AIP 77, 1427 (1995).