Chemical Vapor Deposition of Silver

Chemistry of Materials

Volumn 7, Issue 9, 1995, Pages 1696-1702

  Yuan, Zheng ^a   Dryden, Neil H ^a   Vittal, Jagadese J ^a   Puddephatt, Richard J ^a  

^a UNIVERSITY OF WESTERN ONTARIO   (Canada)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 0000344760     PISSN: 08974756     EISSN: 15205002     Source Type: Journal    
DOI: 10.1021/cm00057a019     Document Type: Article

References (50)

1. Kodas, T. T., Hampden-Smith, M. J., Eds. The Chemistry of Metal CVD; VCH: Weinheim, 1994.
2. Shin, H.-K.; Chi, K. M.; Hampden-Smith, M. J.; Kodas, T. T.; Paffett, M.; Farr, J. D. J. Mater. Res. 1991, 3, 246.
3. Shin, H.-K.; Chi, K. M.; Farkas, J.; Hampden-Smith, M. J.; Kodas, T. T.; Duesler, E. N. Inorg. Chem. 1992, 31, 424.
4. Kumar, R.; Maverick, A. W. Chem. Mater. 1993, 5, 251.
5. Baum, T. H.; Larson, C. E. Chem. Mater. 1992, 4, 365.
6. Puddephatt, R. J. Polyhedron 1994, 13, 1233.
7. Kodas, T. T.; Baum, T. H.; Comita, P. J. Cryst. Growth 1988, 87, 378.
8. Puddephatt, R. J.; Treumicht, I. J. Organomet. Chem. 1987,319, 129.
9. Dryden, N. H.; Shapter, J. G.; Coatsworth, L. L.; Norton, P. R.; Puddephatt, R. J. Chem. Mater. 1992, 4, 979.
10. Messelhauser, J.; Flint, E. B.; Suhr, H. Appl. Surf. Sci. 1992, 54, 64.
11. Holl, M. M. B.; Seidler, P. F.; Kowalczyk, S. P.; McFeeley, F. R. Inorg. Chem. 1994, 33, 510.
12. Oehr, C.; Suhr, H. Appl. Phys. A 1989, 49, 691.
13. Oehr, C.; Suhr, H. (Schering A.-G.) German Patent DE 3,828,211 (Cl. C23C16/ 18), Feb 1990, Appl. 16 Aug 1988; Chem. Abstr. 114, 28448y.
14. Anon. Res. Discuss. 1986, 261, 61.
15. Anon. Res. Discuss. 1986, 263, 146. Cited in ref 3.
16. Shapiro, M. J.; Lackey, W. J.; Hanigofsky, J. A.; Hill, D. N.; Carter, W. B.; Barefield, E. K. J. Alloys Comp. 1992, 187, 331.
17. Baum, T. H.; Larson, C. E. U.S. Patent 5,-096,737, Mar 1992.
18. Beach, D. B.; Jasinski, J. M. U.S. Patent 4,-948,623, 1990.
19. Dryden, N. H.; Vittal, J. J.; Puddephatt, R. J. Chem. Mater. 1993, 5, 765.
20. Jeffries, P. M.; Wilson, S. R.; Girolami, G. S. J. Organomet. Chem. 1993, 449, 203.
21. Lin, W.; Warren, T. H.; Nuzzo, R. G.; Girolami, G. S. J. Am. Chem. Soc. 1993, 115, 11644.
22. Xu, C. Y.; Hampden-Smith, M. J.; Kodas, T. T. Adv. Mater. 1994, 6, 775.
23. Yuan, Z.; Dryden, N. H.; Li, X.; Vittal, J. J.; Puddephatt, R. J. J. Mater. Chem., in press.
24. Galvan, D. H.; Avalosborja, M.; Farias, M. H.; Cotaaraiza, L.; Reyes, A.; Cruzreyes, J.; Early, E. A.; Nieva, G.; Deandrade, M.; Maple, M. B. J. Mater. Sci. 1994,29, 2713.
25. Yun, J.; Harmer, M. P.; Chou, Y. T. J. Mater. Res. 1994, 9,1342.
26. Sen, S.; In-Gann, C.; Chen, C. H.; Sefanescu, D. M. Appl. Phys. Lett. 1988, 54, 766.
27. Mimura, M.; Kumakura, H.; Togano, K.; Maeda, H. Appl. Phys. Lett. 1989, 54, 1582.
28. Imanaka, N.; Saito, F.; Imai, H.; Adachi, G. Jpn. J. Appl. Phys. 1989,28, L580.
29. Osamura, K.; Takayama, T.; Ochiai, S. Appl. Phys. Lett. 1989,55, 396.
30. Matsuoka, Y.; Ban, E.; Ogawa, H. J. Phys. D 1989, 22, 564.
31. Miller, J. H.; Holder, S. L.; Hunn, J. D.; Holder, G. N. Appl. Phys. Lett. 1989, 54, 2256.
32. Ekin, J. W.; Larson, T. M.; Bergren, N. F.; Nelson, A. J.; Swartzlander, A. B.; Kazmerski, L. L.; Panson, A. J.; Blakenship, B. A. Appl. Phys. Lett. 1988, 52, 1819.
33. Liedberg, H.; Lundeberg, T. Urol. Res. 1989, 17, 359.
34. Van Koten, G.; Noltes, J. J. In Comprehensive Organometallic Chemistry, Wilkinson, G., Stone, F. G. A., Abel, E. W., Eds.; Pergamon Press: Oxford, 1982; Vol. 2, pp 709-763.
35. Beverwijk, C. D. M.; Van Der Kerk, J. M.; Leusink, A. J.; Noltes, J. G. Organomet. Chem. Rev. 1970, 5, 215.
36. Bailey, A.; Corbitt, T. S.; Hampden-Smith, M. J.; Duesler, E. N.; Kodas, T. T. Polyhedron 1993, 12, 1785.
37. Xu, C.; Corbitt, T. S.; Hampden-Smith, M. J.; Kodas, T. T.; Duesler, E. N. J. Chem. Soc., Dalton Trans. 1994, 2841.
38. Yuan, Z.; Dryden, N. H.; Vittal, J. J.; Puddephatt, R. J. Can. J. Chem. 1994, 72, 1605.
39. Partenheimer, W.; Johnson, E. H. Inorg. Synth. 1976, 16, 117.
40. Doyle, G.; Eriksen, K. A.; Van Engen, D. Organometallics 1985, 4, 830.
41. Gibson, D.; Johnson, B. F. G.; Lewis, J. J. Chem. Soc. A 1970, 367.
42. Serghini-Monim, S.; Yuan, Z.; Griffiths, K.; Norton, P. R.; Puddephatt, R. J. J. Am. Chem. Soc., in press.
43. Muetterties, E. L.; Alegranti, C. W. J. Am. Chem. Soc. 1972, 94, 6386.
44. Lancashire, R. J. In Comprehensive Coordination Chemistry; Pergamon: Oxford, UK, 1987, Vol. 5, Chapter 54.
45. Dryden, N. H.; Kumar, R.; Ou, E.; Rashidi, M.; Roy, S.; Norton, P. R.; Puddephatt, R. J.; Scott, J. D. Chem. Mater. 1991, 3, 677.
46. CAD4 Diffractometer Manual, Enraf-Nonius: Delft, The Netherlands, 1988.
47. Gabe, E. J.; Le Page, Y.; Charland, J.-P.; Lee, F. C. J. Appl. Cryst. 1989, 22, 384.
48. North, A. C. T.; Phillips, D. C.; Mathews, R. S. Acta. Crystallogr. A 1968, 24, 351.
49. Sheldrick, G. M. SHELXS-86; University of Gottingen: Gottingen, West Germany, 1986.
50. Sheldrick, G. M. SHELX-76; University of Cambridge, Cambridge, England, 1976.