Photochemistry and patterning of self-assembled monolayer films containing aromatic hydrocarbon functional groups

Langmuir

Volumn 12, Issue 6, 1996, Pages 1638-1650

  Dulcey, Charles S ^a   Georger Jr , Jacque H ^b,c   Chen, Mu San ^b   McElvany, Stephen W ^a   O'Ferrall, C Elizabeth ^b   Benezra, Valarie I ^a   Calvert, Jeffrey M ^a  

^a NAVAL RESEARCH LABORATORY   (United States)

^b SCIENCE APPLICATIONS INTERNATIONAL CORPORATION   (United States)

^c SHIPLEY COMPANY   (United States)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 0000307032     PISSN: 07437463     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1021/la9509514     Document Type: Article

References (55)

1. Swalen, J. D.; Allara, D. L.; Andrade, J. D.; Chandross, E. A.; Garoff, S.; Israelachvili, J.; McCarthy, T. J.; Murray, R. W.; Pease, R. F.; Rabolt, J. F.; Wynne, K. J.; Yu, H. Langmuir 1987, 3, 932.
2. Dubois, L. H. Annu. Rev. Mater. Sci. 1991, 21, 373.
3. Ulman, A. An Introduction to Ultrathin Organic Films: From Langmuir-Blodgett to Self-Assembly; Academic Press: San Diego, CA, 1991.
4. Plueddemann, E. P. Silane Coupling Agents; Plenum Press: New York, 1982.
5. Calvert, J. M.; Pehrsson, P. E.; Dulcey, C. S.; Peckarar, M. C. Proc. Mat. Res. Soc. 1992, 260, 905.
6. Vargo, T. G.; Gardella, J. A.; Calvert, J. M.; Chen, M. S. Science 1993, 262, 1711.
7. Kumar, A.; Biebuyck, H. A.; Whitesides, G. M. Langmuir 1994, 10, 1498.
8. Abbott, N. L.; Folkers, J. P.; Whitesides, G. M. Science 1992, 257, 1380.
9. Ross, C. B.; Sun, L.; Crooks, R. M. Langmuir 1993, 9, 632.
10. Vargo, T. G.; Thompson, P. M.; Gerenser, L. J.; Valentini, R. F.; Aebischer, P.; Hook, D. J.; Gardella, J. A. Langmuir 1992, 8, 130.
11. Dulcey, C. S.; Georger, J. H.; Kleinfeld, V.; Stenger, D. A.; Fare, T. L.; Calvert, J. M. Science 1991, 252, 551.
12. Calvert, J. M. J. Vac. Sci. Technol. 1993, B11 (6), 2155.
13. Dressick, W. J.; Calvert, J. M. Jpn. J. Appl. Phys. 1994, 32, 5829.
14. Wollman, E. W.; Frisbie, C. D.; Wrighton, M. S. Langmuir 1993, 9, 1517.
15. Tarlov, M. J.; Newman, J. G. Langmuir 1992, 8, 1398.
16. Perkins, F. K.; Dobisz, E. A.; Brandow, S. L.; Koloski, T. S.; Calvert, J. M.; Rhee, K. W.; Kosakowski, J. E.; Marrian, C. R. K. J. Vac. Sci. Technol. 1994, B12, 3725.
17. Tiberio, R. C.; Craighead, H. G.; Lercel, M.; Lau, T.; Sheen, C. W.; Allara, D. L. Appl. Phys. Lett. 1993, 62, 476.
18. Calvert, J. M.; Chen, M. S.; Dulcey, C. S.; Georger, J. H.; Peckerar, M. C.; Schnur, J. M.; Schoen, P. E. J. Vac. Sci. Technol. 1991, B9, 3447.
19. Calvert, J. M.; Dressick, W. J.; Dulcey, C. S.; Chen, M. S.; Georger, J. H.; Stenger, D. A.; Koloski, T. S.; Calabrese, G. S. In Polymers for Microelectronics; Thompson, L. F., Willson, C. G., Tagawa, S., Eds.; ACS Symposium Series; American Chemical Society: Washington, DC, 1993; Vol. 537, p 210.
20. Bhatia, S. K.; Teixeira, J. L.; Anderson, M.; Shriver-Lake, L. C.; Calvert, J. M.; Georger, J. H.; Hickman, J. J.; Dulcey, C. S.; Schoen, P. E.; Ligler, F. S. Anal. Biochem. 1993, 208, 197.
21. Stenger, D. A.; Georger, J. H.; Dulcey, C. S.; Hickman, J. J.; Rudolph, A. S.; Nielson, T. B.; McCort, S. M.; Calvert, J. M. J. Am. Chem. Soc. 1992, 114, 8435.
22. Calvert, J. M.; Koloski, T. S.; Dressick, W. J.; Dulcey, C. S.; Peckerar, M. C.; Cerrina, F.; Taylor, J. W.; Suh, D.; Wood, O. R., II; MacDowell, A. A.; D'Souza, R. Opt. Eng. 1993, 32 (10), 2437.
23. Suh, D.; Simons, J. K.; Taylor, J. W.; Calvert, J. M.; Koloski, T. S. J. Vac. Sci. Technol. 1993, B11 (6), 2850.
24. Ada, E. T.; Hanley, L.; Etchin, S.; Melngailis, J.; Dressick, W. J.; Chen, M. S.; Calvert, J. M. J. Vac. Sci. Technol. B 1995, B13, 2189.
25. Marrian, C. R. K.; Perkins, F. K.; Brandow, S. L.; Koloski, T. S.; Dobisz, E. A.; Calvert, J. M. J. Appl. Phys. Lett. 1994, 64, 1.
26. Dressick, W. J.; Dulcey C. S., Georger J. H.; Calabrese, G. S.; Calvert, J. M. J. Electrochem. Soc. 1994, 141, 210.
27. Geer, R. E.; Stenger, D. A.; Chen, M. S.; Calvert, J. M.; Shashidhar, R.; Jeong, Y. H.; Pershan, P. S. Langmuir 1994, 10, 1171.
28. Durfor, C. N.; Turner, D. C.; Georger, J. H.; Peek, B. M.; Stenger, D. A. Langmuir 1994, 10, 148.
29. Brandow, S. L.; Dressick, W. J.; Dulcey, C. S.; Marrian, C. R. K.; Chow, G. M.; Calvert, J. M. J. Electrochem. Soc. 1995, 142, 2233.
30. Amster, I. J.; Land, D. P.; Hemminger, J. C.; Mclver, R. T. Anal. Chem. 1989, 61, 184.
31. Feldmann, D.; Kutzner, J.; Laukemper, J.; MacRobert, S.; Welge, K. H. Appl. Phys. 1987, B44, 81.
32. Wasserman, S. R.; Whitesides, G. M.; Tidswell, I. M.; Ocko, B. M.; Pershan, P. S.; Axe, J. D. J. Am. Chem. Soc. 1989, 111, 5852.
33. 1992 Hüls Silicon Compounds Register and Review; Anderson, R., Larson, G. L., Smith, C., Eds.; Hüls America Inc.: Piscataway, NJ, 1992.
34. Doub, L.; Vandenbelt, J. M. J. Am. Chem. Soc. 1947, 69, 2714.
35. Jaffe, H. H.; Orchin, M. Theory and Applications of Ultraviolet Spectroscopy; John Wiley and Sons: New York, 1962.
36. Mathauer, K.; Frank, C. Langmuir 1993, 9, 3002.
37. Morra, M.; Occhiello, E.; Garbassi, F. In Metallized Plastics 2: Fundamental and Applied Aspects; Mittal, K. L., Ed.; Plenum Press: New York, 1991; p 363.
38. Brzoska, J. B.; Azouz, F. B.; Rondelez, F. Langmuir 1994, 10, 4367.
39. 2 for this material.
40. Friedli, A. C.; Dulcey, C. S.; Hsu, A. R.; Calvert, J. M. Abstracts, 209th American Chemical Society Meeting, Anaheim, CA, April 2-5, 1995; Abstract COLL 010. Friedli, A. C.; Roberts, R. D.; Dulcey, C. S.; Hsu, A. R.; Calvert, J. M. Unpublished results.
41. 2.
42. McLafferty, F. W. Interpretation of Mass Spectra, 2nd ed.; W. A. Benjamin, Inc.: Reading, MA, 1973; pp 108-9.
43. Kallury, K. M. R.; Krull, U. J.; Thompson, M. Anal. Chem. 1988, 60, 169.
44. Upon 193 nm exposure of the multiring silane films, the main change is the monotonic decrease in intensity of the UV spectrum. However, a weak, but detectable tail is also observed that is red-shifted from the lowest energy π → π* transition and may be due to the formation of photooxidized species such as quinones or aldehydes.
45. -4 cm), the calculated temperature rise is 0.02 K. For a more detailed discussion, see: Ashby, C. I. H.; Tsao, J. Y. In Laser Microfabrication; Ehrlich, D. J., Tsao, J. Y., Eds.; Academic Press: New York, 1989; pp 268-272.
46. Srinivasan, R.; Braren, B. Chem. Rev. 1989, 89, 1303.
47. Walsh, R. Acc. Chem. Res. 1981, 14, 246.
48. 248) where ∈ is the molar absorptivity and D is the dose to completely effect the transformation.
49. Kuhn, H. Physical Methods of Chemistry; John Wiley and Sons: New York, 1993; pp 375-542.
50. Lochmuller, C. H.; Colborn, A. S.; Hunnicut, M. L. Anal. Chem. 1983, 55, 1344.
51. Calvert, J. M.; Dulcey, C. S.; Georger, J. H.; Peckerar, M. C.; Schnur, J. M.; Schoen, P. E.; Calabrese, G. S.; Sricharoenchaikit, P. Solid State Technol. 1991, 34 (10), 77.
52. Dressick, W. J.; Dulcey, C. S.; Georger, J. H.; Calvert, J. M. Chem. Mater. 1993, 5, 148.
53. Potochnik, S. J.; Hsu, D. S. Y.; Pehrsson, P. E.; Calvert, J. M. Langmuir 1995, 11, 1841.
54. Perkins, F. K.; Dobisz, E. A.; Brandow, S. L.; Calvert, J. M.; Kosakowski, J. E.; Marrian, C. R. K. Appl. Phys. Lett. 1996, 68, 550.
55. Brandow, S. L.; Snow, E. S.; Campbell, P. M.; Calvert, J. M. Submitted for publication in Appl. Phys. Lett.