메뉴 건너뛰기




Volumn 79, Issue 3, 1996, Pages 1583-1594

Oxide, interface, and border traps in thermal, N2O, and N2O-nitrided oxides

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords


EID: 0000254929     PISSN: 00218979     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.361002     Document Type: Article
Times cited : (148)

References (113)
  • 3
    • 0345631846 scopus 로고
    • G. J. Dunn, Appl. Phys. Lett. 53, 1650 (1988); B. S. Doyle and G. J. Dunn, IEEE Trans. Electron Device Lett. 12, 63 (1991).
    • (1988) Appl. Phys. Lett. , vol.53 , pp. 1650
    • Dunn, G.J.1
  • 6
    • 36449005359 scopus 로고
    • E. C. Carr and R. A. Buhrman, Appl. Phys. Lett. 63, 54 (1993); E. C. Carr, K. A. Ellis, and R. A. Buhrman, ibid. 66, 1492 (1995).
    • (1993) Appl. Phys. Lett. , vol.63 , pp. 54
    • Carr, E.C.1    Buhrman, R.A.2
  • 16
    • 0024933367 scopus 로고
    • G. J. Dunn, R. Jayaraman, W. Yang, and C. G. Sodini, Appl. Phys. Lett. 52, 1713 (1988); G. J. Dunn and P. W. Wyatt, IEEE Trans. Nucl. Sci. 36, 2161 (1989).
    • (1989) IEEE Trans. Nucl. Sci. , vol.36 , pp. 2161
    • Dunn, G.J.1    Wyatt, P.W.2
  • 18
    • 1642266741 scopus 로고
    • N. Bhat and J. Vasi, IEEE Trans. Nucl. Sci. 39, 2230 (1992); A. Mallik, J. Vasi, and A. N. Chandorkar, J. Appl. Phys. 74, 2665 (1993).
    • (1992) IEEE Trans. Nucl. Sci. , vol.39 , pp. 2230
    • Bhat, N.1    Vasi, J.2
  • 22
    • 0028698045 scopus 로고
    • N. S. Saks, M. Simons, D. M. Fleetwood, J. T. Yount, P. M. Lenahan, and R. B. Klein, IEEE Trans. Nucl. Sci. 41, 1854 (1994); N. S. Saks, D. I. Ma, D. M. Fleetwood, and M. E. Twigg, in Proceedings of the ECS Symposium on Silicon Nitride and Silicon Dioxide Thin Insulating Films, edited by V. Kapoor (Electrochemical Society, New York, 1994).
    • (1994) IEEE Trans. Nucl. Sci. , vol.41 , pp. 1854
    • Saks, N.S.1    Simons, M.2    Fleetwood, D.M.3    Yount, J.T.4    Lenahan, P.M.5    Klein, R.B.6
  • 33
    • 0026854397 scopus 로고
    • Z. Shanfield, G. A. Brown, A. G. Revesz, and H. L. Hughes, IEEE Trans. Nucl. Sci. 39, 303 (1992) [J. Rad. Eff. Res. Eng. 8, 1 (1990)].
    • (1990) J. Rad. Eff. Res. Eng. , vol.8 , pp. 1
  • 41
    • 36549096569 scopus 로고
    • P. M. Lenahan and P. V. Dressendorfer, J. Appl. Phys. 55, 3495 (1984); Y. Y. Kim and P. M. Lenahan, ibid. 64, 3551 (1988).
    • (1988) J. Appl. Phys. , vol.64 , pp. 3551
    • Kim, Y.Y.1    Lenahan, P.M.2
  • 50
    • 0001290550 scopus 로고
    • M. Kerber, J. Appl. Phys. 74, 2125 (1993); M. Kerber, U. Schwalke, and F. Neppl, Solid State Commun. 75, 147 (1990).
    • (1993) J. Appl. Phys. , vol.74 , pp. 2125
    • Kerber, M.1
  • 70
    • 0002596946 scopus 로고
    • edited by C. R. Helms and B. E. Deal Plenum, New York, and references therein
    • 2 Interface, edited by C. R. Helms and B. E. Deal (Plenum, New York, 1988), pp. 497-507, and references therein.
    • (1988) 2 Interface , pp. 497-507
    • Maserjian, J.1
  • 74
    • 35949040606 scopus 로고
    • J. G. Simmons and G. W. Taylor, Phys. Rev. B 5, 1619 (1972); J. G. Simmons, G. W. Taylor, and M. C. Tam, ibid. 7, 3714 (1973).
    • (1972) Phys. Rev. B , vol.5 , pp. 1619
    • Simmons, J.G.1    Taylor, G.W.2
  • 85
    • 0024913722 scopus 로고
    • A. J. Lelis, H. E. Boesch, Jr., T. R. Oldham, and F. B. McLean, IEEE Trans. Nucl. Sci. 35, 1186 (1988); A. J. Lelis, T. R. Oldham, and H. E. Boesch, Jr., ibid. 36, 1808 (1989); A. J. Lelis and T. R. Oldham. ibid. 41, 1835 (1994).
    • (1989) IEEE Trans. Nucl. Sci. , vol.36 , pp. 1808
    • Lelis, A.J.1    Oldham, T.R.2    Boesch Jr., H.E.3
  • 86
    • 0028726796 scopus 로고
    • A. J. Lelis, H. E. Boesch, Jr., T. R. Oldham, and F. B. McLean, IEEE Trans. Nucl. Sci. 35, 1186 (1988); A. J. Lelis, T. R. Oldham, and H. E. Boesch, Jr., ibid. 36, 1808 (1989); A. J. Lelis and T. R. Oldham. ibid. 41, 1835 (1994).
    • (1994) IEEE Trans. Nucl. Sci. , vol.41 , pp. 1835
    • Lelis, A.J.1    Oldham, T.R.2
  • 88
    • 0028721232 scopus 로고
    • R. K. Freitag, D. B. Brown, and C. M. Dozier, IEEE Trans. Nucl. Sci. 40, No. 6, 1316 (1993); 41, 1828 (1994).
    • (1994) IEEE Trans. Nucl. Sci. , vol.41 , pp. 1828
  • 90
    • 36449005644 scopus 로고
    • W. L. Warren, D. M. Fleetwood, M. R. Shaneyfelt, J. R. Schwank, P. S. Winokur, R. A. B. Devine, and D. Mathiot, Appl. Phys. Lett. 64, 3452 (1994); W. L. Warren, D. M. Fleetwood, M. R. Shaneyfelt, P. S. Winokur, and R. A. B. Devine, Phys. Rev. B 50, 14710 (1994); W. L. Warren, M. R. Shaneyfelt, D. M. Fleetwood, J. R. Schwank, P. S. Winokur, R. A. B. Devine, and D. Mathiot, IEEE Trans. Nucl. Sci. 41, 1864 (1994).
    • (1994) Appl. Phys. Lett. , vol.64 , pp. 3452
    • Warren, W.L.1    Fleetwood, D.M.2    Shaneyfelt, M.R.3    Schwank, J.R.4    Winokur, P.S.5    Devine, R.A.B.6    Mathiot, D.7
  • 91
    • 0042929136 scopus 로고
    • W. L. Warren, D. M. Fleetwood, M. R. Shaneyfelt, J. R. Schwank, P. S. Winokur, R. A. B. Devine, and D. Mathiot, Appl. Phys. Lett. 64, 3452 (1994); W. L. Warren, D. M. Fleetwood, M. R. Shaneyfelt, P. S. Winokur, and R. A. B. Devine, Phys. Rev. B 50, 14710 (1994); W. L. Warren, M. R. Shaneyfelt, D. M. Fleetwood, J. R. Schwank, P. S. Winokur, R. A. B. Devine, and D. Mathiot, IEEE Trans. Nucl. Sci. 41, 1864 (1994).
    • (1994) Phys. Rev. B , vol.50 , pp. 14710
    • Warren, W.L.1    Fleetwood, D.M.2    Shaneyfelt, M.R.3    Winokur, P.S.4    Devine, R.A.B.5
  • 93
    • 85033839432 scopus 로고    scopus 로고
    • private communication
    • D. J. DiMaria (private communication).
    • DiMaria, D.J.1
  • 95
    • 0000675006 scopus 로고
    • S. D. Brorson, D. J. DiMaria, M. V. Fischetti, F. L. Pesavento, P. M. Solomon, and D. W. Dong, J. Appl. Phys. 58, 1302 (1985); M. V. Fischetti, J. Appl. Phys. 57, 2860 (1985).
    • (1985) J. Appl. Phys. , vol.57 , pp. 2860
    • Fischetti, M.V.1
  • 97
    • 36449004449 scopus 로고
    • L. P. Trombetta, G. J. Gerardi, D. J. DiMaria, and E. P. Tierney, J. Appl. Phys. 64, 2434 (1988); L. P. Trombetta, F. J. Feigl, and R. J. Zeto, J. Appl. Phys. 69, 2512 (1991).
    • (1991) J. Appl. Phys. , vol.69 , pp. 2512
    • Trombetta, L.P.1    Feigl, F.J.2    Zeto, R.J.3
  • 101
    • 85033860793 scopus 로고    scopus 로고
    • note
    • it, in Table I of Ref. 30 are therefore too high by ∼40%. Other values in Table I of Ref. 30 are unaffected by this correction. The conclusions of Ref. 30 are otherwise not affected.
  • 103
    • 0000269527 scopus 로고
    • C. T. Sah and F. H. Hielscher, Phys. Rev. Lett. 17, 956 (1966); H. S. Fu and C. T. Sah, IEEE Trans. Electron Devices 19, 273 (1966).
    • (1966) Phys. Rev. Lett. , vol.17 , pp. 956
    • Sah, C.T.1    Hielscher, F.H.2
  • 109
    • 0028468255 scopus 로고
    • R. E. Paulsen, R. R. Siergiej, M. L. French, and M. H. White, IEEE Electron Device Lett. 13, 627 (1992); R. E. Paulsen and M. H. White, IEEE Trans. Electron Devices 41, 1213 (1994).
    • (1994) IEEE Trans. Electron Devices , vol.41 , pp. 1213
    • Paulsen, R.E.1    White, M.H.2
  • 112


* 이 정보는 Elsevier사의 SCOPUS DB에서 KISTI가 분석하여 추출한 것입니다.