Photoluminescence study of defects in Si+ ion implanted thermal SiO2 films

Journal of Applied Physics

Volumn 83, Issue 7, 1998, Pages 3609-3613

  Zhang, Jia Yu ^a   Bao, Xi Mao ^a   Li, Neng Sheng ^a   Song, Hai Zhi ^a  

^a NANJING UNIVERSITY   (China)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 0000181581     PISSN: 00218979     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.366578     Document Type: Article

References (26)

1. See for example, W. L. Warren, E. H. Poindexter, M. Offenberg, and W. Muller-Warmuth, J. Electrochem. Soc. 139, 872 (1992).
2. K. Seol, A. Leki, Y. Ohki, H. Nishikawa, and M. Tachimori, J. Appl. Phys. 79, 412 (1996);
3. H. Nishikawa, E. Watanabe, D. Ito, M. Takiyama, A. Leki, and Y. Ohki, J. Appl. Phys. ibid. 78, 842 (1995);
4. K. Seol, Y. Ohki, H. Nishikawa, M. Takiyama, and Y. Kama, J. Appl. Phys. ibid. 80, 6444 (1996).
5. B. Garrido, J. Samitier, S. Bota, J. A. Moreno, J. Montserrat, and J. R. Morante, J. Appl. Phys. 81, 126 (1997).
6. H. Hosono and R. A. Weeks, Phys. Rev. B 40, 10543 (1989);
7. H. Hosono and N. Matsunami, Phys. Rev. B ibid. 48, 13469 (1993).
8. J. H. Stathis and M. A. Kastner, Phys. Rev. B 35, 2972 (1987).
9. V. B. Sulimov and V. O. Sokolov, J. Non-Cryst. Solids 191, 260 (1995).
10. R. Tohmon, Y. Shimogaichi, H. Mizuno, Y. Ohki, K. Nagasawa, and Y. Kama, Phys. Rev. Lett. 62, 1388 (1989).
11. L. N. Skuja, A. N. Trukhin, and A. E. Plaudis, Phys. Status Solidi A 84, K153 (1984);
12. L. Skuja, J. Non-Cryst. Solids 149, 77 (1992).
13. J. F. Conley, P. M. Lenahan, H. L. Evans, R. K. Lowry, and T. J. Morthorst, J. Appl. Phys. 76, 2872 (1994).
14. N. Ookubo, H. Ono, Y. Ochiai, Y. Mochizuki, and S. Matsui, Appl. Phys. Lett. 61, 940 (1992).
15. G. Ghislotti, B. Nielsen, P. Asoka-Kumar, K. G. Lynn, A. Gambhir, L. F. Di Mauro, and C. E. Bottani, J. Appl. Phys. 79, 8660 (1996).
16. S. Guha, M. D. Pace, D. N. Dunn, and I. L. Singer, Appl. Phys. Lett. 70, 1027 (1997).
17. T. Shimazu-Iwayama, S. Nakao, and K. Saitoh, Appl. Phys. Lett. 65, 1814 (1994).
18. C. T. Kirk, Phys. Rev. B 38, 1255 (1988);
19. P. Lange, J. Appl. Phys. 66, 201 (1989).
20. 2 System, edited by P. Balk (Elsevier, Amsterdam, 1988).
21. P. G. Pai, S. S. Chao, Y. Takagi, and G. Lucovsky, J. Vac. Sci. Technol. A 4, 689 (1986).
22. V. B. Sulimov and V. O. Sokolov, J. Non-Cryst. Solids 191, 260 (1995).
23. R. Tohmon, H. Mizuno, Y. Ohki, K. Sasagane, K. Nagasawa, and Y. Kama, Phys. Rev. B 39, 1337 (1989).
24. H. Imai, K. Arai, H. Imagawa, H. Hosono, and Y. Abe, Phys. Rev. B 38, 12772 (1988).
25. W. H. Turner and H. A. Lee, J. Chem. Phys. 43, 1428 (1965).
26. B. P. O'Reilly and J. Robertson, Phys. Rev. B 27, 3780 (1983).