Laser-assisted chemical vapor deposition of titanium nitride films

Journal of Applied Physics

Volumn 84, Issue 1, 1998, Pages 596-599

  Ishihara, Seiji ^a,b   Hanabusa, Mitsugu ^a  

^a TOYOHASHI UNIVERSITY OF TECHNOLOGY   (Japan)

^b SHARP CORPORATION   (Japan)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 0000161124     PISSN: 00218979     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.368086     Document Type: Article

References (16)

1. M. Eizenberg, MRS Bull. XX, 38 (1995).
2. R. I. Hegde, R. W. Fiordalice, E. O. Travis, and P. J. Tobin, J. Vac. Sci. Technol. B 11, 1287 (1993).
3. A. Katz, A. Feingold, S. J. Pearton, S. Nakahara, M. Ellington, U. K. Chakrabarti, M. Geva, and E. Lane, J. Appl. Phys. 70, 3666 (1991).
4. A. Katz, A. Feingold, S. Nakahara, S. J. Pearton, E. Lane, M. Geva, F. A. Stevie, and K. Jones, J. Appl. Phys. 71, 993 (1992).
5. I. J. Raaijmakers, Thin Solid Films 247, 85 (1994).
6. G. S. Sandhu, S. G. Meikle, and T. T. Doan, Appl. Phys. Lett. 62, 240 (1993).
7. T. Akahori, A. Tanihara, and M. Tano, Jpn. J. Appl. Phys., Part 1 30, 3558 (1991).
8. A. Weber, R. Poeckelmann, and C.-P. Klages, Appl. Phys. Lett. 67, 2934 (1995).
9. S. Motojima and H. Mizutani, Appl. Phys. Lett. 54, 1104 (1989).
10. T. J. Chuang, in Laser Microfabrication, edited by D. J. Ehrlich and J. Y. Tsao (Academic, San Diego, 1989), pp. 85-162; R. L. Jackson, T. H. Baum, T. T. Kodas, D. J. Ehrlich, and P. B. Comita, ibid. pp. 385-451.
11. T. J. Chuang, in Laser Microfabrication, edited by D. J. Ehrlich and J. Y. Tsao (Academic, San Diego, 1989), pp. 85-162; R. L. Jackson, T. H. Baum, T. T. Kodas, D. J. Ehrlich, and P. B. Comita, ibid. pp. 385-451.
12. M. Hanabusa, Mater. Sci. Rep. 2, 51 (1987).
13. M. Hanabusa, A. Oikawa, and P. Y. Cai, J. Appl. Phys. 66, 3268 (1989); 67, 3208E (1990).
14. M. Hanabusa, A. Oikawa, and P. Y. Cai, J. Appl. Phys. 66, 3268 (1989); 67, 3208E (1990).
15. T. Takahagi, I. Nagai, A. Ishihatani, and H. Kuroda, J. Appl. Phys. 64, 3516 (1988).
16. T. Kawai, M. Okawa, A. Komatsu, T. Shimada, and M. Hanabusa, Appl. Surf. Sci. 79/80, 385 (1994).