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Volumn 69, Issue 24, 1992, Pages 3511-3514

Anomalous sheath heating in a low pressure rf discharge in nitrogen

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EID: 0000098764     PISSN: 00319007     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1103/PhysRevLett.69.3511     Document Type: Article
Times cited : (111)

References (18)


* 이 정보는 Elsevier사의 SCOPUS DB에서 KISTI가 분석하여 추출한 것입니다.